双向聚酰亚胺薄膜(BOPI)凭借耐热、高绝缘、尺寸超稳定、耐辐射、可柔性化等综合性能,成为半导体制造、封装、测试环节中不可替代的关键材料,尤其在制程、高密度封装、柔性芯片领域更是刚需。
一、超耐高温,适配半导体高温工艺
半导体制造涉及扩散、光刻、蚀刻、离子注入、金属化、键合等多道高温工序,温度常达 200℃~400℃。
BOPI 可在 -269℃~+260℃ 长期稳定工作,短期耐温可达 400℃以上。
高温下不熔化、不变形、不放气、无有害物质析出,不污染晶圆与腔体。
普通塑料薄膜(PET、PEN 等)在 150℃以上即软化失效,无法使用。
二、尺寸极度稳定,保证芯片精度
半导体对尺寸精度、位置精度要求达到微米甚至纳米级,材料稍有变形即报废。
双向拉伸使 BOPI 分子高度取向,热膨胀系数(CTE)较低,可与硅片、陶瓷、金属框架匹配。
高温下热收缩率<0.1%,反复冷热冲击不翘曲、不伸缩。
确保光刻对位、引线键合、覆晶封装、微凸点工艺零偏差。
三、优良电气绝缘性能,保障器件可靠性
半导体芯片电压低、电流密度较高,绝缘一旦失效即击穿烧毁。
击穿场强高 200~300 kV/mm
体积电阻率达 10¹⁶~10¹⁷ Ω·cm
高温、高湿环境下仍保持稳定绝缘
适用于:
晶圆保护层
功率器件隔离层
多层布线层间绝缘
高压 IGBT、MOSFET 绝缘支撑
四、耐辐射、耐化学腐蚀,适配严苛制造环境
1.半导体产线存在:
高能射线(γ 射线、电子束)
强酸、强碱、有机溶剂
等离子体刻蚀环境
2.BOPI:
耐辐射性能优良,不老化、不断裂
耐大部分有机溶剂、酸类
等离子体环境下稳定性强
可作为晶圆保护膜、光刻支撑膜、蚀刻遮蔽膜。
五、机械强度高,可超薄、可柔性
半导体追求薄型化、轻量化、柔性化:
BOPI 可做到 12.5μm~50μm 超薄厚度
拉伸强度高、抗撕裂、耐弯折
可卷曲、可折叠,支撑柔性芯片、柔性传感器、折叠屏驱动 IC
是晶圆减薄、超薄封装、COF/FOF的核心基材。
六、适配封装技术(半导体核心需求)
在 Bumping、WLP、Fan-out、2.5D/3D 封装、TSV 等封装中:
用作芯片缓冲层、应力释放层
减少硅片与基板热失配导致的翘曲、开裂
提升倒装芯片(FC)、铜柱凸点可靠性
作为重布线层(RDL)介质材料
没有 BOPI,封装难以实现高密度、高可靠、薄型化。
七、低吸湿性、高洁净度,符合半导体洁净要求
BOPI 吸水率较低,高温下不析水、不产生气泡
高纯度、低金属离子析出,不污染晶圆
满足半导体 Class 10~1000 洁净室使用标准